美國ALICAT 20W系列低壓降質量流量計，采用**技術的內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。

　　20W系列具有超低壓損，滿量程壓損*低可達360Pa。可用于快速*準地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應用場合。

　　介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

　　介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

　　一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

　　量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

　　測量范圍    0.01～100

　　*大顯示流量    128*滿量程

　　顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

　　顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

　　精       度    ± （0.8*讀數 + 0.2*滿量程）見上段精度升級部分

　　± （0.4*讀數 + 0.2*滿量程）（可選）

　　累計流量精度    流量精度之外增加±0.5*額外誤差

　　重  復  性    ±（0.2*讀數+0.02*滿量程）

　　質量流量溫度漂移    0.03*滿量程當溫度從25℃起每變化1℃

　　質量流量壓力漂移    ±（0.08 * 讀數 + 0.02 * 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

　　響應時間    優于10 ms

　　預熱時間    < 1 s

　　標定工況    25 ℃&1 Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）

　　工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

　　溫度精度    ± 0.75 ℃

　　工作濕度    0 ～ 95 *，無冷凝

　　*大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口*大允許瞬時壓差70 Kpa

　　*低操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

　　壓力精度    ±0.5*讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

　　滿量程壓損    參考詳細壓損表

　　數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

　　模擬信號：1000 Hz

　　屏幕刷新頻率    10 Hz

　　數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

　　模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

　　可選*二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

　　模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 * 滿量程誤差

　　供電電壓    7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

　　供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

　　電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

　　泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

　　材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁