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產(chǎn)品分類
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美國(guó)KLA - TENCOR光學(xué)表面分析儀
KLA-Tencor公司為**美資半導(dǎo)體（芯片）設(shè)備供貨商，公司總部在美國(guó)硅谷，擁有 6000 多名員工，自1976年成立以來(lái)不斷致力于產(chǎn)品研究與發(fā)展，客戶提供更*善更人性化服務(wù)，并協(xié)助半導(dǎo)體（芯片）廠商創(chuàng)造高品質(zhì)、**率的產(chǎn)品，目前分公司遍布美洲、歐洲、亞洲等國(guó)家。KLA-Tencor 一直致力于幫助其客戶降低運(yùn)營(yíng)成本并增加收益，并已經(jīng)成為其堅(jiān)定不移的長(zhǎng)期合作伙伴。
KLA-Tencor主要產(chǎn)品:
CS20光學(xué)表面分析儀
WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測(cè)量系統(tǒng)
LMS IPRO6 光罩圖案位置測(cè)量系統(tǒng)
K-T Analyzer 9.0 先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)
2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
Puma 9850 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
Surfscan SP5 無(wú)圖案晶圓缺陷
Teron SL650 光罩檢測(cè)系統(tǒng)
處理450mm硅片的Surfscan SP3系統(tǒng)
KLA-Tencor主要產(chǎn)品:
CS20光學(xué)表面分析儀
WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測(cè)量系統(tǒng)
LMS IPRO6 光罩圖案位置測(cè)量系統(tǒng)
K-T Analyzer 9.0 先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)
2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
Puma 9850 激光掃描圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
Surfscan SP5 無(wú)圖案晶圓缺陷
Teron SL650 光罩檢測(cè)系統(tǒng)
處理450mm硅片的Surfscan SP3系統(tǒng)
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